Bộ lọc khí đầu vào giữ lại tạp chất, hơi nước trong không khí trước khi đưa đến buồng tạo Ozone. Việc xử lý không khí trước khi đưa vào buồng phóng giúp tạo khí Ozone tinh sạch, nồng độ cao, sản lượng Ozone ổn định và đặc biệt là tuổi thọ buồng phóng được nâng lên đáng kể.
Phụ kiện bộ lọc khí đầu vào cho máy Ozone công nghiệp được thiết kế đơn giản với 2 màng lọc bụi đầu vào, các hạt hút ẩm, 2 đầu dẫn khí ra vào bằng đồng bền bỉ. Các hạt hút ẩm màu xanh tím sẽ phai màu dần khi hấp thụ hơi nước, khi chuyển sang màu trắng là lúc cần thay bộ lọc.